1、【芯事记】2022年实现超40亿元订单，拓荆科技PECVD工艺种类设备全覆盖

  1、【芯事记】2022年实现超40亿元订单，拓荆科技PECVD工艺种类设备全覆盖

  集微网消息，4月18日，拓荆科技股份有限公司（以下简称“拓荆科技”）发布2022年年度报告，业绩创公司历史新高。

  受益于国内半导体行业良好的发展形态趋势，国内半导体行业设施需求增加，同时拓荆科学技术产品竞争力持续增强，销售订单大幅度的增加，营业收入维持高增长趋势。2022年，拓荆科技实现营业收入17.06亿元，同比增长125.02%；实现归属于上市公司股东的净利润3.69亿元，同比增长438.09%。

  过去一年，拓荆科技持续拓展以PECVD、ALD、SACVD及HDPCVD为主的薄膜系列新产品工艺应用领域，获得逻辑芯片、存储芯片等领域现有客户重复订单及新客户订单。

  PECVD方面，拓荆科技相关这类的产品订单量稳定增长，市场占有率持续攀升，获得现有及新客户的批量订单和批量验收。其中PECVD（NF-300H）型号设备，已实现首台产业化应用，并取得客户复购订单。另外，与PECVD设备成套使用的UV Cure设备实现出售的收益。2022年PECVD系列新产品实现出售的收益15.63亿元，同比增长131.44%。

  ALD方面，拓荆科技PE-ALD已实现产业化应用，获得了不一样的客户的订单。2022年该系列新产品实现出售的收益3258.67万元，同比增长13.85%。

  SACVD方面，拓荆科技SACVD 产品已在国内集成电路制造产线实现了广泛应用，并取得了现有及新客户订单。2022年该系列新产品实现出售的收益8947.62万元，同比增长117.39%。

  截至2022年报告期末，拓荆科技在手销售订单金额为46.02亿元（不含Demo订单），2022年签订销售订单金额为43.62亿元（不含Demo订单），新增订单与上年同期相比增加95.36%，为后续业绩的增长提供了有力保障。

  与此同时，集微网根据招标平台公开数据整理统计，2022年，拓荆科技中标上海积塔、华虹半导体、清华大学等企业/单位，共计16台设备，包括提供二氧化硅等离子薄膜沉积设备、化学气相薄膜沉积设备（后段以硅烷作反应物的二氧化硅）、等离子体增强方式化学气相薄膜沉积设备（后段以硅烷作反应物的氮化硅）等。

  过去一年，拓荆科技继续保持比较高水平的研发投入，金额达到3.79亿元，同比增加31.37%，占据营业收入比例为22.21%。与此同时，其不断丰富设备产品品类，拓宽薄膜工艺应用覆盖面，在现有产品产业化应用、新产品研发、验证等方面均取得了突破性进展。

  PECVD方面，拓荆科技PECVD设备已基本实现PECVD工艺种类的全面覆盖，大范围的应用于国内晶圆厂产线年报告期内，拓荆科技多种不同工艺指标的先进薄膜材料（包括LoKⅠ、ACHM、ADCⅠ、HTN等）和设备均通过客户验证，进入量产产线；同时，开发了可以沉积低温SiN、TEOS 等介质薄膜材料的低温薄膜沉积设备；在PECVD（PF-300T）基础上，推出PECVD（NF-300H）型号设备，并实现首台产业化应用，可以沉积Thick TEOS等介质材料薄膜。

  SACVD方面，拓荆科技可实现SATEOS、BPSG、SAF薄膜工艺沉积的SACVD设备均通过客户验证，实现了产业化应用。

  HDPCVD方面，拓荆科技HDPCVD设备能一起进行薄膜沉积和溅射。其HDPCVD（PF-300T Hesper）设备已通过产线验证。

  混合键合方面，拓荆科技混合键合系列新产品包括晶圆对晶圆键合产品和芯片对晶圆键合表面预处理产品，能轻松实现直接或基于层间的键合工艺、复杂的常温共价键合工艺。2022年报告期内，其成功研制了首台晶圆对晶圆键合产品Dione 300，并出货至客户端做验证；已完成芯片对晶圆键合表面预处理产品Pollux的研发，目前该产品已出货至客户端进行验证。

  目前，拓荆科技设备在客户端产线生产产品的累计流片量已突破1亿片。2022年报告期内，其设备在客户端产线生产运行稳定性表现优异，平均机台稳定运行时间（Uptime）超过90%。

  此外，拓荆科技募投项目建设进展顺利。其中，高端半导体设备扩产项目二期洁净厂房已基本完成建设并投入到正常的使用中；位于上海临港新片区的ALD设备研发与产业化项目已基本完成建设并投入到正常的使用中,并按计划开始实施研发和生产工作；位于临港新片区的半导体先进工艺装备研发与产业化项目已取得土地摘牌，后续将根据计划稳步推进项目建设。

  集微网报道经过今年多次降价后，日前，特斯拉上调了美国和中国等主要市场几款车型的价格。

  特斯拉官网5月2日的多个方面数据显示，在中国特斯拉Model 3的起售价上调至23.19万元，Model Y的起售价上调至26.39万元，涨幅均为2000元左右；而在美国Model 3的起售价上调至40240美元，Model Y的起售价上调至47240美元。

  此外，特斯拉还提高了其在日本和加拿大部分车型的价格。但由于此前在全球多个市场降价以刺激需求，特斯拉汽车的价格在涨价后仍低于年初。

  进入4月后，特斯拉在全世界内再次掀起新一轮降价潮，包括丹麦、新加坡、德国、中国香港、美国等市场已官宣降价，涉及车型主要为Model 3和Model Y，但并未包括中国市场。

  此前，市场传言称特斯拉中国也将迎来新一轮降价，预计Model 3、Model Y降价超4万元，Model 3将直接降至20万元以下。但此次未降反涨，让我们消费者有些不解，有分析称特斯拉希望能够通过涨价推动观望人群尽快下单，也不排除为下一轮大幅度降价制造舆论基础。

  5月3日上午，天岳先进上海工厂产品交付仪式在上海临港顺利举行。来自德国、法国、新加坡、台湾地区等国内外客户代表出席仪式并参观了新工厂。

  天岳先进的产品质量已在客户群体中形成品牌优势。自开工建设以来，客户对上海工厂的产品交付充满期待，目前的实际进度超出客户预期。上海工厂进入产品交付阶段无疑将对行业发展注入强大动力。

  中国科学院院士、西安电子科技大学教授、博士生导师郝跃、中国自由贸易试验区临港新片区党工委副书记吴晓华等行业专家、政府部门领导莅临公司产品交付仪式。

  郝跃院士对天岳先进近几年来在技术进步和产能提升方面取得的成绩给予了肯定和赞扬，他表示：“天岳抓住了一个难得的历史机会，掌握了碳化硅衬底材料的核心技术，始终秉承创新理念，坚持自主研发，具有独到的技术，为我国碳化硅产业链做出了巨大的贡献。在天岳的不停地改进革新、不断的提高品质以及全球客户的支持帮助下，天岳一定会取得更大的发展。”

  吴晓华副书记表示：“上海天岳不仅是临港在集成电路产业材料领域的龙头，更是临港实现自主可控、全链布局集成电路产业不可或缺的重要组成。”

  天岳先进上海工厂启动产品交付开启了公司发展新的篇章。上海工厂使用先进的设计理念，率先打造碳化硅衬底领域智慧工厂，通过AI和数字化技术持续优化工艺，为产能提升打下重要基础。全球新能源汽车、绿色电力和储能等终端市场发展势头迅猛，下游应用领域对碳化硅衬底材料的需求呈现持续旺盛的趋势。天岳先进将依托领先的技术优势，持续提升产能，满足日渐增长的市场需求，坚持追求卓越的产品的质量，始终为客户创造更大的价值。

  【细则】李强签署国务院令 公布《国务院关于修改〈中华人民共和国专利法细则〉的决定》

  【一周IC快报】美国商务部新增13家中国公司进入“未经验证清单”；美国将启动半导体供应链审查；商务部、科技部公布《中国禁止出口限制出口技术目录》：稀土、集成电路技术在列……